應材啟用南科再生晶圓廠 達節源省本效應

【大紀元6月28日訊】（大紀元記者賴友容台南縣報導）美商應用材料公司27日於南部科學工業園區台南園區的第一座再生晶圓廠舉行啟用典禮，目前再生晶圓廠已有小規模試產，未來將提升晶圓廠競爭力。總統陳水扁致詞表示，這是美商應用材料公司進一步的加碼台灣，除就近提供南部地區客戶快速專業的服務，可積極帶動南部地區半導體產業的群聚效應與蓬勃發展，將與北部的竹科相互輝映。

應用材料公司總裁暨執行長麥克．史賓林特（Michael Splinter）專程由美國來台主持開幕儀式，他致詞時表示，應材公司在台灣擁有最多的半導體晶圓廠客戶，在此設立第一座再生晶圓廠除強化客戶服務，也是對台灣半導體產業的重大承諾。

應材公司全球客戶支援服務群台灣暨中國區總經理易錦良表示，應材公司繼2001年在南崁投資成立亞太半導體零組件物流中心後，再投資新台幣九億元設立再生晶圓廠，可有效減少多晶矽原料的耗損、降低客戶營運成本，也是節約資源的環保作法。他進一步指出，應材公司願意投資、生根的地方在台灣，也是投資台灣最多的設備公司；他希望以最好的技術為台灣的廠商提供最好的服務。

應材公司運用本身的製造設備與軟體，使測試晶圓延續45%壽命，每片可重複使用達11次之多。這項新技術能力不但可提供高品質且無雜質的晶圓片，更有助於節省客戶成本，同時節約全球有限的矽晶圓用量。應用材料再生晶圓廠獨步全球的處理步驟，在清除晶圓上所附著以碳為材質的低介電質薄膜時，不會移除晶圓上的矽材質，在再生過程中不會破壞晶圓本身。

美商應用材料公司再生晶圓廠啟用典禮，參與來賓除總統陳水扁南下表達感謝與歡迎之意外，包括國科會主委陳建仁、經濟部次長施顏祥、南科管理局長陳俊偉、台南縣副縣長顏純左及客戶代表等。◇

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