奈米碳管半導體設備問市

【大紀元6月18日訊】〔自由時報記者郭怡君台北報導〕在台灣國科會和竹科半導體設備廠商晶研科技的共同資助下，清大、台師大和中原大學組成的團隊，成功研發出台灣第一部能生產「奈米碳管」的半導體電漿製程設備，可應用在奈米級平面顯示器中，為台灣平面顯示器產業的升級再創先機。

　 清大工程與系統科學系教授蔡春鴻指出，奈米碳管是奈米科技發展最熱門的一種材料，純由「碳」元素組成，自然界的純碳構成物質以鑽石和石墨為代表，而人工製造出的奈米碳管，管壁的結構就像是由一層層的石墨所捲成。

　 蔡春鴻指出，直徑從一奈米到幾十奈米、長度則可達到幾百微米至幾釐米，兼具鑽石和石墨的優點，重量很輕又具很好的導電性、導熱性、彈性和機械強度，科學美國人雜誌曾以奈米碳管從地球延伸到太空來支撐太空站的幻想卡通作為封面，凸顯奈米碳管材料的強韌。

　 蔡春鴻表示，這項計畫發展的半導體設備和製程，是以生產能應用在「場發射顯示器」的奈米碳管為目標。

　 場發射顯示器是以奈米科技為根基的新一代平面顯示器，若能以奈米碳管做為其電子發射源，相較於大面積的液晶顯示幕和電漿顯示幕而言，可將成本壓到最低，並擁有低工作電壓、高發光效率、快速反應速率及寬廣視角等優點，能讓元件具有較佳可靠度和較長的使用壽命，更可在極低溫或高溫的惡劣環境使用。

　 蔡春鴻說，清大、台師大、中原和晶研科技的合作，已研發出國內首部能生產「奈米碳管」的半導體電漿製程設備，能產生高密度的電漿製程環境、獨立控制電漿的離子密度和能量，並大幅提高了奈米碳管的場發射電流，為場發射顯示器奠定量產基礎。  (http://www.dajiyuan.com)