发展绿色环保企业 茂德经验可借镜

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【大纪元4月23日报导】(中央社记者何易霖新竹二十三日电)环保议题日受正视,新竹科学园区内厂商在建造友善生产环境不遗余力,其中DRAM大厂茂德科技发展绿色环保企业有成,无论在推动节约能源、废弃物减量与回收、温室效应气体减量与绿色生产等措施,目前均获得相当良好成效,值得半导体业作为发展参考。

茂德发言人林育中表示,茂德在追求企业成长及产能提升的同时,仍不忘善尽环境保护的责任与义务,并以“创造优质工作环境、善尽企业环境保护责任、保障企业永续发展”为使命,做好各项污染防治措施。

节约用水方面,茂德除将废气洗涤塔、冷却水塔等 次级用水全面改用回收水或循环使用外,并藉由机台参 数调整或小规模改管工程,减少机台在待机或运转时的用水量。

此外,茂德也积极增设或改善回收系统,如雨水回收、化学机械研磨废水回收、空调冷凝水回收及超过滤逆渗透回收系统,回收水量在2001至2004年间增加3.5倍,生产每片晶圆所耗用的水量也节省将近30%,较台湾半导体业平均值为低。近年来茂德已节约用水近170
万吨,节省金额约新台币2千万元,去年节约水量可供应台湾2160户全年用水量。

节约用电方面,除将冰水主机用于耗电马达冷却水塔,并将污染防治水与冷却水塔等耗电量大的设备加装变频器以达省电的效果外,也将挥发性有机物废气处理系统燃烧炉所产生的废热能回收,用来加热纯水循环,减少电能消耗。
依茂德计算,2001至2004年期间,公司生产每片晶 圆所耗用的电力节省35%以上,低于台湾半导体业平均值。2004年节约用电1.7亿度以上,节省金额高2.7亿元 。
废弃物清理方面,茂德除一般垃圾无法回收外,诸 如废硫酸、废溶剂、污泥等废弃物均透过回收再利用的方式处理,2004年的废弃物回收率达87%以上。公司报告指出,2001至2004年期间,每片晶圆所产生的废弃物 量减少近45%,远低于台湾半导体业平均值。

另一方面,为及早因应将于2006年7月生效的欧盟电子电机设备中危害物质禁用指令(RoHS),茂德已于2004年初成立跨部门的“环境管制物质管理委员会”,与上下游合作厂商间建立绿色伙伴关系,共同提供环境 化设计产品,目前茂德已具有能力生产符合RoHS规范并达国际知名系统厂商的绿色产品,除降低产品废弃后对环境冲击外,更可避免贸易障碍。

在此同时,配合京都议定书生效,茂德采用制程最适化技术,藉由制程参数的调整,提高气体利用率,减少不必要的气体排放;并使用局部处理设备,去除废气中的氟化物(PFCs)
;且以温室效应潜势 (GWP)较低或利用率较高的化学品,取代现有制程的氟化物,并同步在中科新设厂加装有效的废气处理设备。

除节能环保硬体建设外,茂德也同步强化员工环保工安观念,每年举办“环安月”系列活动,强调全员参与,让员工将环境保护的观念融入工作与生活中。并于1999年起连续7年获竹科管理局颁发“厂房绿美化特优奖”,致力环境绿美化成效。
林育中强调,为达绿色经营目标,善尽企业环境责任与义务,茂德除持续推动绿色采购,提倡使用具环保标章产品外,也将绩效指标纳入环安卫管理系统中,评估生产过程对环境所造成的冲击,以符合ISO精神。

目前茂德正积极推动环境会计制度与撰写企业环安 卫报告书,将各项努力与成效提供与各界参考,藉由资讯交流,达到企业永续发展的最终目标。

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