(http://www.epochtimes.com)
【大紀元4月11日訊】 據自由時報4月11日報導，以台大應用力學研究所教授李世光為首的產學合作研究團隊昨日宣布，已成功研發出最新型的「繞射式雷射光學尺系統」，其量測準度比日本佳能公司過去不肯賣給台灣的最精密機型還精準十倍！這項研發成果預計在一年內可衍生出領先全球的超精密光學尺產品，將可廣泛應用到半導體、光電和精密量測加工產業。
「雷射光學尺」是一種超精密的量測定位儀器，是整合了微型光學系統、次微米光柵尺、創新積體電路應用等三要件，使量測精度達到「次奈米」，也就是比目前常聽到的奈米等級還精密十倍的定位量測技術。
雷射光學尺市場過去由日本佳能獨霸全球，在國防和商業的雙重考量下，日本佳能過去禁止對台灣銷售其所生產繞射式雷射光學尺的最精準機型，以免台灣對日本佔有的超高精密度工作母機及量測儀器市場造成威脅，台大產學合作團隊六年來自立自強，終於自行研發成功比佳能產品精密十至六十倍的雷射光學尺。
總計畫主持人李世光教授指出，在半導體產業、液晶螢幕及各種超精密機械系統的上游製程，都會用到「繞射式雷射光學尺」系統，是我國目前兩大重要產業的關鍵零組件技術，台大團隊所研發出的新型繞射式雷射光學尺，能夠直接跟日本佳能系統相容對換，提升半導體和液晶螢幕製程中的量測精度。
李世光指出，繞射式雷射光學尺所牽涉到的量測與製程設備，每年全球市場總值超過數十億美元，台大所研發出的系統效能領先全球，不但極具產業競爭力，對提升台灣半導體和液晶螢幕兩大科技產業的精密度也將有顯著的正面效益，更可提升國內兩兆雙星產業的設備自製率。
此產學合作計畫由國科會和本土廠商華錦光電公司共同出資，六年來共投入六千七百多萬元研發，並由台大應力所微奈米機電系統研究群近百位研究人力共同執行，目前已取得國內外十七件專利，並產出十一篇論文。
——————————————————————————
《新聞小辭典》繞射式雷射光學尺
傳統的光學尺受限於繞射效應，無法量測比光的波長更細微的東西，一般常使用的雷射光波長約為六百多奈米，使傳統光學量測一直停留在「次微米」等級。
(http://www.dajiyuan.com)
